電子車間廢氣處理-杭州

　　電子工業(yè)有機廢氣VOCs的排放，對大氣質(zhì)量、人體健康以及周邊生活環(huán)境的危害都較大，對該類污染物進行有效控制和治理問題也愈發(fā)重要。電子工業(yè)從產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)鏈劃分，自上而下分為電子整機產(chǎn)品、電子基礎產(chǎn)品和電子材料三個層次。其中涵蓋：電子材料、半導體器件、電子元件及印制電路板、光電器件和電子終端產(chǎn)品等5個方面。

　　電子工業(yè)是VOCs排放的主要行業(yè)之一，電子工業(yè)廢氣VOCs排放種類有30多種，組分復雜。電子工業(yè)廢氣VOCS主要來源于對電子產(chǎn)品的表面涂層工藝環(huán)節(jié)所用溶劑型涂料和清洗工藝環(huán)節(jié)所用有機溶劑所致。電子工業(yè)廢氣VOCS常見的種類有：異丙醇、丁酮、甲苯、醋酸丁酯、甲醇、乙醇、丙酮、二甲苯、丙二醇單甲醚、苯乙烯、乙酸乙酯、正丁醇、甲基異丁基甲酮、二氯甲烷、環(huán)已酮、乙苯、正庚烷、甲氫呋喃、三氯乙烯。

　　一般來說，廢氣排放中風量較大，VOCs濃度較低。半導體工藝過程中有機廢氣具有排放流量大(通常大于11000m3/h)和濃度低(通常小于25ppmv)的特點。電子工業(yè)廢氣VOCs排放中還含有酸性氣體、堿性氣體和一些有體。

　　揮發(fā)性有機物(VOCs)排放量大、濃度低、成分復雜，常見有機廢氣治理方法如：焚燒、吸附、冷凝、生物膜法、低溫等離子、光催化氧化等，單獨運用或無法達成經(jīng)濟高效運行，或不能滿足嚴苛的排放標準。

　　焚燒法(RTO)：能耗大、運行成本高，適合處理高濃度、小風量有機廢氣。

　　吸附法(活性炭)：投資小、工藝簡單，易飽和，必須與脫附、冷凝、焚燒等方法聯(lián)用才能滿足排放要求。

　　冷凝法：與吸收、吸附等方法聯(lián)用，將有機廢氣吸附濃縮后冷凝、分離，回收其中有價值的有機物。此法適用濃度高、風量小的有機廢氣處理場合。缺點是：投資、能耗、運行費用高，冷凝回收物提純處理后，仍有相當部分液態(tài)廢棄物需要進一步處理。該方案與生產(chǎn)設備、生產(chǎn)工藝存在匹配關系，偏離這種匹配關系將提高治理成本，影響治理效果。

　　沸石轉(zhuǎn)輪濃縮+焚燒法：沸石轉(zhuǎn)輪濃縮設備基本依靠進口，自主產(chǎn)品尚不成熟。該方案同樣與生產(chǎn)設備、生產(chǎn)工藝存在匹配關系。

　　低溫等離子、光催化氧化法：揮發(fā)性有機物處理效率低，只能作為輔助性的治理手段。

高溫等離子焚燒技術是高頻(30KHz)高壓(100KV)大功率電源在特定條件下的聚能放電，產(chǎn)生3千℃等離子態(tài)高溫氣流。

　　有機廢氣在反應器中經(jīng)過壓縮、高壓聚能放電成為高溫等離子體。反應器壓力增高，氣體體積急劇膨脹，在高溫、高電勢的雙重作用下，有機廢氣瞬間(萬分之5秒)成為高溫等離子體，其中長分子鏈裂解成單質(zhì)原子，有機物清除率大于98%。

　　高溫等離子焚燒裝置無需濃縮，便可直接處理低濃度、大風量有機廢氣。每處理1萬立方米/小時有機廢氣，僅消耗10kW電力。

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電子工業(yè)從產(chǎn)品來分的話，自上而下可以分為電子整機產(chǎn)品和電子基礎產(chǎn)品，還有電子材料等三個部分，其中包含有：光電器件、半導體器件、電子元件及電子終端產(chǎn)品等方面。電子廠廢氣的主要來源是對電子產(chǎn)品的表面涂層工藝環(huán)節(jié)所用溶劑型涂料和清洗工藝環(huán)節(jié)所用有機溶劑所致。電子工業(yè)廢氣VOCS常見的種類有：異丙醇、丁酮、甲苯、醋酸丁酯、甲醇、乙醇、丙酮、二甲苯、丙二醇單甲醚、苯乙烯、乙酸乙酯、正丁醇、甲基異丁基甲酮、二氯甲烷、環(huán)已酮、乙苯、正庚烷、甲氫呋喃、三氯乙烯。

對于這種排放量大、濃度低、成分復雜的廢氣，比較常用的廢氣處理方法有：焚燒、吸附、冷凝、生物膜法、低溫等離子、光催化氧化等，單獨使用的話有可能無法達成經(jīng)濟運行，或不能滿足嚴苛的排放標準，以下對于電子廠車間廢氣處理的幾種方法進行簡單介紹一下：

1、焚燒法（RTO）：能耗大、運行成本高，適合處理高濃度、小風量有機廢氣；

2、吸附法（活性炭）：投資小、工藝簡單，易飽和，需要與脫附、冷凝、焚燒等方法聯(lián)用才能滿足排放要求；

3、冷凝法：與吸收、吸附等方法聯(lián)用，將有機廢氣吸附濃縮后冷凝、分離，回收其中有價值的有機物。此法適用濃度高、風量小的有機廢氣處理場合。缺點是：投資、能耗、運行費用高，冷凝回收物提純處理后，仍有相當部分液態(tài)廢棄物需要進一步處理。該方案與生產(chǎn)設備、生產(chǎn)工藝存在匹配關系，偏離這種匹配關系將提高治理成本，影響治理效果；

5、光催化氧化法：采用C波段（僅次于切割不銹鋼的激光，強于氬弧焊光源的數(shù)十倍強度）在設備內(nèi)，強裂解惡臭物質(zhì)分子鏈，改變物質(zhì)結(jié)構(gòu)，將高分子污染物質(zhì)，裂解、氧化成為低分子無害物質(zhì)，如水和二氧化碳等；

6、高溫等離子凈化法：經(jīng)過壓縮、高壓聚能放電成為高溫等離子體。反應器壓力增高，氣體體積急劇膨脹，在高溫、高電勢的雙重作用下，有機廢氣瞬間(萬分之5秒)成為高溫等離子體，其中長分子鏈裂解成單質(zhì)原子，有機物凈化率在90%左右。

常州藍陽環(huán)保有限公司主要產(chǎn)品有：低溫等離子廢氣凈化器、光氧催化廢氣凈化設備、活性炭吸附箱、催化燃燒設備、脈沖式濾筒除塵器、脈沖式布袋除塵器、噴淋凈化塔、焊接煙塵凈化器等，我公司生產(chǎn)的環(huán)保設備廣泛應用于電路板廠、電子廠、半導體廠、光伏新能源等行業(yè)，并得到了廣大企業(yè)的好評，已經(jīng)為上千家企業(yè)實施了廢氣治理項目。

1、焚燒處理（RTO）：耗能大、運作費用高，適宜解決濃度較高的、小風速有機氣體；

2、活性炭吸附法（活性碳）：小投資、加工工藝簡易，易飽和，必須與解吸、冷凝、焚燒處理等方法合用方能達到排放量標準；.

、冷凝法：與吸收、活性炭吸附等辦法合用，將有機氣體活性炭吸附萃取后冷凝、提取，回收當中有使用價值的有機化合物。這種方法常用濃度值高、風速小的有機廢氣治理場合。

弊端是：投資、耗能、運作成本高，冷凝回收物提純解決后，仍有很大部分液體廢料必須進一步處理。

4、沸石轉(zhuǎn)輪萃取+焚燒處理：沸石轉(zhuǎn)輪濃縮設備主要依賴進口的，自主機器設備暫不成熟。該加工工藝同樣與生產(chǎn)設備、制作工藝存有匹配關系；

5、光催化氧化法：使用C波段（僅低于切割不銹鋼板的激光，強過氬弧焊光源的數(shù)十倍強度）在機器設備內(nèi)，強裂解惡臭味成分分子鏈，轉(zhuǎn)變成分結(jié)構(gòu)，將高分子材料污染源成分，裂解、氧化變成低分子無害成分，如水和二氧化碳等；

6、高溫等離子技術凈化處理法：通過壓縮、高壓聚能充放電變成高溫等離子技術。反應器壓力增大，廢氣容積大幅度膨脹，在高溫、高電勢的雙向作用下，有機氣體瞬間(萬分之5秒)變成高溫等離子技術，當中長分子鏈裂解成單質(zhì)原子，有機化合物凈化率在90%上下。